Prestazioni a tariffario
Sono previste 3 tariffe per 3 categorie di committenti (sono esclusi dall'applicazione di queste tariffe Strutturati interni al Dipartimento afferenti ai gruppi di ricerca che hanno contribuito al finanziamento/cofinanziamento dell'allestimento del laboratorio od alla sua manutenzione) A: Ricercatori dell'Ateneo B: Ricercatori di altre Università C: Enti di Ricerca pubblici o privati, industria, settore terziario e liberi professionisti
ANALISI CHIMICA QUANTITATIVA
| ANALISI CHIMICA QUANTITATIVA (1) | ||||
| TECNICA | TIPOLOGIA | TARIFFA A | TARIFFA B | TARIFFA C |
| WD-XRF | Determinazione quantitativa degli elementi principali (Si, Al, Fe, Mg, Mn, Ca, Na, K, P) mediante fluorescenza a raggi X (XRF) di materiali litoidi naturali e artificiali. | 16 | 33 | 66 |
| WD-XRF | Determinazione quantitativa degli elementi principali (Si, Al, Fe, Mg, Mn, Ca, Na, K, P) mediante fluorescenza a raggi X (XRF) di materiali litoidi naturali e artificiali e di 20 elementi in tracce (Ba, Ce, Co, Cr, Cu, Ga, Hf, La, Nb, Nd, Ni, Pb, Rb, Sc, Sr, Th, V, Y, Zn, Zr) mediante fluorescenza a raggi X (XRF) di materiali litoidi naturali e artificiali. | 22 | 45 | 90 |
| ICP-MS | Determinazione quantitativa di un set di 4 elementi (Ca, K, Mg e Na) mediante spettrometria di plasma massa (ICPMS) | 20 | 30 | 45 |
| ICP-MS | Determinazione quantitativa di un set di 35 elementi (Li, Be, B, Na, Mg, Al, P, K, Ca, Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, As, Se, Rb, Sr, Mo, Ag, Cd, Sn, Sb, Te, Ba, Tl, Pb, Bi, U) mediante spettrometria di plasma massa (ICPMS) | 30 | 44 | 66 |
| ICP-MS | Determinazione quantitativa dei lantanidi più un set di 7 elementi (Rb, Sr, Zr, Nb, Hf, Th, U) mediante spettrometria di plasma massa (ICPMS) | 30 | 44 | 66 |
| IC | Determinazione quantitativa di un set di anioni (Br, Cl, F, NO2, NO3, PO4, SO4) mediante ionocromatografia (IC) | 16 | 33 | 66 |
| LWIA | Determinazione dei rapporti istotopici δD e δ18O nelle acque mediante analizzatore isotopico LWIA | 20 | 40 | 80 |
| MS | Determinazione elementare e dei rapporti isotopici di C e N in matrici ambientali solide mediante sistema EA-IRMS | 20 | 40 | 80 |
(1) tariffe concordabili per un numero di campioni superiore a 30
ANALISI MINERALOGICHE PER DIFFRATTOMETRIA DEI RAGGI X (XRD)
| ANALISI MINERALOGICHE PER DIFFRATTOMETRIA DEI RAGGI X (XRD) | ||||
| TECNICA | TIPOLOGIA | TARIFFA A | TARIFFA B | TARIFFA C |
| XRD | Misura del diffrattogramma dei raggi X da materiale policristallino tramite diffrattometro automatico a temperatura ambiente | Da concordare* | 65 | 130 |
| XRD-HT | Misura del diffrattogramma dei raggi X da materiale policristallino tramite diffrattometro automatico ad alta temperatura in situ (fino a 900°C) | Da concordare* | 88 | 176 |
| XRD-ID | Interpretazione del diffrattogramma dei raggi X con identificazione delle fasi cristalline (analisi qualitativa) | Da concordare* | 43 | 86 |
| XRD-QPA | Elaborazione Rietveld del diffrattogramma per analisi quantitafiva modale delle fasi cristalline in miscela polifasica | Da concordare* | 67 | 134 |
| Preparazione di campioni policristallini per analisi XRD (e.g. macinazione di materiali litoidi, preparazione capillari) | Da concordare* | 13 | 26 | |
| Preparazioni speciali per analisi XRD di campioni di argille (e.g. separazione frazione, glicolazione, trattamento campione a diverse temperature) | Da concordare* | 21 | 42 | |
* Tariffa A "da concordare" in quanto applicabile attraverso accordi di collaborazione scientifica. Tariffe B e C trattabili per numero di campioni superiore a 20.
ANALISI MINERALOGICHE TERMICHE
| ANALISI MINERALOGICHE TERMICHE | ||||
| TECNICA | TIPOLOGIA | TARIFFA A | TARIFFA B | TARIFFA C |
| TG/DTA | Misura curve termogravimetriche-termodifferenziali (TG/DTG/DTA) combinate in intervallo di temperatura da RT a 1400°C con flusso di aria o azoto | Da concordare* | 61 | 121 |
| TG/DTA-ID | Interpretazione termogravimetriche-termodifferenziali (TG/DTG/DTA) | Da concordare* | 39 | 77 |
* Tariffa A "da concordare" in quanto applicabile attraverso accordi di collaborazione scientifica. Tariffe B e C trattabili per numero di campioni superiore a 20.
ANALISI PETROGRAFICHE AL MICROSCOPIO POLARIZZATORE
| ANALISI PETROGRAFICHE AL MICROSCOPIO POLARIZZATORE (1) | ||||
| TECNICA | TIPOLOGIA | TARIFFA A | TARIFFA B | TARIFFA C |
| Analisi petrografiche in sezione sottile standard | Analisi petrografiche in sezione sottile di materiali litoidi naturali ed artificiali: riconoscimento e stima di singoli componenti (da 1 a 3 componenti) | 20 | 32 | 44 |
| Analisi petrografiche in sezione sottile di materiali litoidi naturali ed artificiali: definizione petrografica classificativa | 40 | 60 | 90 | |
| Analisi petrografiche in sezione sottile di materiali litoidi naturali ed artificiali: definizione petrografica classificativa quantitativa in base a conteggio modale. Con breve relazione. | 80 | 80 | 135 | |
| Analisi petrografiche di minerali pesanti in grani (2) | Separazione dei minerali pesanti da materiale granulare mediante liquidi pesanti | da concordare | da concordare | da concordare |
| Disgregazione di rocce debolmente consolidate per la successiva separazione di minerali pesanti | da concordare | da concordare | da concordare | |
| Preparazione mediante setacci della frazione granulometrica 0.063-0.350 mm per la successiva separazione dei minerali pesanti | 6 | 12 | 15 | |
| Montaggio dei minerali in grani su vetrino in maniera permanete mediante resina | 10 | 17 | 22 | |
| Montaggio dei minerali in grani su vetrino in maniera provvisoria mediante eugenolo | 5 | 8 | 11 | |
| Studio petrografico dei minerali pesanti | da concordare | da concordare | da concordare | |
(1) tariffa concordabile per un numero di campioni superiore a 30
(2) le tariffe saranno concordate in base a: i) tipo di studio; ii) numero di specie e tipo di minerali; iii) tipo di materiale; iv) scopi dello studio.
PREPARAZIONE DEI CAMPIONI
| PREPARAZIONE DEI CAMPIONI | ||||
| TIPOLOGIA | TARIFFA A | TARIFFA B | TARIFFA C | |
| Frantumazione e macinazione in agata di materiali litoidi (per Max 100 g di materiale da frantumare e max 50 g di materiale da polverizzare) (1) | 3 | 8 | 11 | |
| Preparazione della pasticca di polvere pressata su base di acido borico per l'analisi in WD-XRF | 3 | 8 | 11 | |
| Dissoluzione dei campioni solidi, mediante attacco acido su piastra in sistema aperto, per l'analisi in ICP-MS (1) | 7 | 17 | 22 | |
| Preparazione dei campioni di acque (filtrazione/diluizione/acidificazione) per l'analisi in ICPMS | 3 | 8 | 11 | |
| Separazione isodinamica dei componenti minerali di rocce mediante separatore magnetico Franz | 7 | 17 | 22 | |
| Esecuzione di sezioni sottili di materiali litoidi coerenti | 11 | 17 | 20 | |
| Esecuzione di sezioni sottili di materiali litoidi incoerenti previa inglobazione con resine | 12 | 22 | 33 | |
| Preparazione di superfici lucidate di materiali litoidi (dim. max. 3 cm x 3 cm) | 7 | 17 | 22 | |
(1) le tariffe si riferiscono a preparazioni standard. Per preparazioni particolari o di materiali con particolari difficoltà ci si riserva di applicare tariffe diverse da concordare di comune accordo con il committente
ANALISI CHIMICO-FISICHE SEDIMENTI
| ANALISI CHIMICO-FISICHE SEDIMENTI | ||||
| TECNICA | TIPOLOGIA | TARIFFA A | TARIFFA B | TARIFFA C |
| Descrizione visiva della tessitura di sedimenti sciolti | 8 | 13 | 17 | |
| Preparativa campioni (ossigenazione, separazione ad umido, essicazione, quartazione) | 11 | 17 | 20 | |
| Analisi granulometrica per setacciatura a secco (max 11 setacci) | Campione da preparare | 17 | 36 | 40 |
| Per ogni setaccio eccedente gli 11 (cadauno) | 2 | 4 | 5 | |
| Analisi granulometrica frazione sabbiosa con bilancia di sedimentazione | Campione da preparare | 31 | 48 | 53 |
| Campione già preparato (ossigenato, separato,essicato e quartato) | 20 | 31 | 33 | |
| Analisi granulometrica frazione pelitica con Sedigraph | Campione da preparare | 31 | 48 | 53 |
| Campione già preparato (ossigenato, separato e quartato) | 22 | 33 | 36 | |
| Perdita in peso ponderale (Loss on Ignition) | Contenuto in acqua naturale (105°C) | 2 | 4 | 5 |
| Contenuto in Sostanza Organica (500°C) | 3 | 5 | 7 | |
| LOI Totale (1000°C) | 3 | 5 | 7 | |
| Peso specifico reale (solidi e liquidi, max 10 cc) con picnometro He | 8 | 10 | 11 | |
| Contenuto in Carbonato con calcimetro gas volumetrico | Campione da preparare | 9 | 18 | 20 |
| Campione già preparato (polverizzato, essicato) | 6 | 12 | 13 | |
ROCCE SEDIMENTARIE - PREPARAZIONE DEI CAMPIONI
| ROCCE SEDIMENTARIE - PREPARAZIONE DEI CAMPIONI | |||
| TIPOLOGIA | TARIFFA A | TARIFFA B | TARIFFA C |
| Preparazione di sezioni sottili (60x45mm) con vetrino coprioggetti | 6 | 11 | 33 |
| Preparazione di sezioni sottili (60x45mm) senza vetrino coprioggetti | 6 | 11 | 28 |
| Sezioni lucide (superficie max 50 x100 mm) | 6 | 11 | 17 |
| Preparazione di residui di lavaggio da rocce poco coerenti con metodo H2O2 o neosteramina (>62 micron) (a campione) | 16 | 33 | 55 |
| Preparazione di residui di lavaggio da rocce coerenti (con metodo acetolisi o azoto liquido)(>62 micron) (a campione) | 16 | 44 | 66 |
ROCCE SEDIMENTARIE - ANALISI MICROSCOPICHE
| ROCCE SEDIMENTARIE - ANALISI MICROSCOPICHE | ||||
| TECNICA | TIPOLOGIA | TARIFFA A | TARIFFA B | TARIFFA C |
| Analisi della litofacies di sezioni sottili | 44 | 83 | 110 | |
| Analisi della biofacies di sezioni sottili | 55 | 110 | 165 | |
| DETERMINAZIONE DI FOSSILI (1) | Analisi micropaleontologiche in sezione sottile in luce polarizzata: riconoscimento componenti (foraminiferi, calpionellidi) ed interpretazione dei dati | 66 | 88 | 165 |
| Analisi micropaleontologiche microscopiche di residui di lavaggio in luce riflessa: riconoscimento componenti (foraminiferi) ed interpretazione paleoecologica dei dati | 66 | 88 | 165 | |
| Determinazione di fossili di alghe, protista e invertebrati isolati | 66 | 88 | 165 | |
| Datazione di roccia in sezione sottile | 66 | 88 | 165 | |
| Datazione di residuo di lavaggio | 66 | 88 | 165 | |
(1) tariffa da concordare per un numero di campioni superiore a 20
ESCURSIONI E STUDI GEOLOGICI E PALEONTOLOGICI
| ESCURSIONI E STUDI GEOLOGICI E PALEONTOLOGICI | |
| TIPOLOGIA | TARIFFA UNICA |
| Organizzazione e illustrazione di escursioni geologiche e paleontologiche | Da concordare |
| Studi di carattere geologico regionale con sintesi stratigrafico-sedimentologica | |
| Studi di carattere geologico regionale con sintesi stratigrafico-sedimentologica | |
| Rilevamento geologico regionale | |
| Interpretazione di sezioni sismiche in 2D e 3D | |
| Correlazioni stratigrafiche di pozzi esplorativi | |
INDAGINI GEOFISICHE
| INDAGINI GEOFISICHE | ||||
| TIPO | DESCRIZIONE | TARIFFA A | TARIFFA B | TARIFFA C |
| Tomografie di Resistività Elettrica ERT |
Indagini di Tomografie Geoelettriche 2D di Superficie con strumentazione ABEM Terrameter LS multicanale con diverse configurazioni elettrodiche e comprensivo di elaborazione dati con programmi di inversione bidimensionale, la relazione finale. | |||
| Tomografia di resistività elettrica con 48 elettrodi e spaziatura ≤3m | 300 | 400 | 550 | |
| Tomografia di resistività elettrica con 48 elettrodi e spaziatura >3m e ≤5m | 350 | 500 | 650 | |
| Tomografia di resistività elettrica con misure di IP con 48 elettrodi e spaziatura ≤3m | 500 | 600 | 750 | |
| Tomografia di resistività elettrica con misure di IP con 48 elettrodi e spaziatura >3 e ≤5m | 550 | 750 | 850 | |
| Indagini di Tomografie Geoelettriche pozzo-pozzo (cross-hole) e pozzo-superficie (hole-surface) 2D e 3D con strumentazione, configurazioni elettrodiche ad hoc, installazione sensori in tubi piezometrici, comprensivo di elaborazione dati con programmi di inversione bidimensionale e tridimensionale, la relazione finale. | da concordare | da concordare | da concordare | |
| Indagini di Tomografie Geoelettriche 3D con strumentazione, configurazioni elettrodiche ad hoc, comprensivo di elaborazione dati con programmi di inversione tridimensionale, la relazione finale. | da concordare | da concordare | da concordare | |
| Elaborazione dati ERT 2D e 3D senza acquisizione (costo orario con minimo 3h) | 150 | 200 | 300 | |
| Georadar | Prospezione geofisica con metodologia Georadar (GPR), con strumentazione munita di antenna avente mono o pluri-frequenze adeguate per fornire le informazioni relative agli obiettivi delle ricerche secondo le indicazioni del Committente, con ubicazione delle linee, densità della maglia tipo e la configurazione delle antenne adeguati al tipo di materiale indagato, alla profondità d'indagine e al dettaglio richiesto, elaborazione dati e relazione finale | |||
| profili all'esterno con antenna con doppia frequenza di 350-800MhZ (ml) | 5 | 5 | 8 | |
| profili all'interno con antenna con doppia frequenza di 350-800MhZ (ml) | 10 | 10 | 15 | |
| profili su strutture con antenna a 2000MhZ (ml) | 15 | 15 | 20 | |
| Acquisizioni 3D | da concordare | da concordare | da concordare | |
| Sismica Rifrazione | Prospezione geofisica col metodo sismico a rifrazione per l'esecuzione di profili sismici con allineamenti unitari di 24 geofoni con numero minimo di 7 tiri per BASE (5 interni e 2 esterni), compresi piazzamento attrezzature, loro spostamento nell'area di studio ed elaborazione dei dati, la relazione finale. | |||
| con massa battente, stendimento con distanza intergeofonica ≤ 5 m e restituzione delle sezioni sismo-stratigrafica | 500 | 650 | 850 | |
| sovrapprezzo per acquisizione ed elaborazione dati con generazione di onde di taglio (da aggiungere) | 50% | 50% | 50% | |
| R.E.M.I. | Prospezione geofisica col metodo sismico passivo dei microtremori a rifrazione Re.Mi., eseguita con uno stendimento costituito da 24 geofoni verticali con frequenza propria di 4,5 Hz interspaziati di 5 m; compreso piazzamento attrezzature, loro spostamento nell'area di studio, restituzione cartografica con indicate le superfici di discontinuità, il Vseq30, la classificazione del suolo, la relazione finale. | 350 | 450 | 500 |
| MASW | Prospezione geofisica con il metodo sismico attivo MASW eseguita con uno stendimento costituito da 24 geofoni verticali con frequenza propria di 4,5 Hz interspaziati di 3-5 m e due punti di scoppio; compreso piazzamento attrezzature, loro spostamento nell'area di studio, restituzione cartografica con indicate le superfici di discontinuità e il valore Vs30, nonchè la classificazione del suolo, la relazione finale. | 400 | 600 | 700 |
| HVSR | Prospezione sismica HVSR realizzata mediante posizionamento di un sismometro da 2Hz, con registrazione di almeno 30 minuti del rumore sismico ambientale; compresa l'elaborazione, la restituzione dei dati e relazione finale | 150 | 200 | 250 |
| SERVIZI | Elaborazione dati geofisici | da concordare | da concordare | da concordare |
| Progettazione indagini geofisiche | da concordare | da concordare | da concordare | |
NOTE: Tutte le attività sono relative a distanze <30Km, per distanze superiori si applica un costo chilometrico da concordare
Tutte le indagini sono relative ad aree prive di ostacoli e con permessi di passaggio già disponibili
PANALYTICAL X'PERT³ MRD XL - DIFFRAZIONE AD ALTA RISOLUZIONE DI RAGGI-X
| PANALYTICAL X'PERT³ MRD XL - DIFFRAZIONE AD ALTA RISOLUZIONE DI RAGGI-X | ||||
| TECNICA | TIPOLOGIA | TARIFFA A | TARIFFA B | TARIFFA C |
| HR-XRD | Misura HRXRD ad alta risoluzione su film sottili, multilayer e wafer epitassiali (scansioni ω-2θ / 2θ-ω). | € 60 | € 90 | € 180 |
| ROCKING CURVE | Rocking curve (ω scan) per valutazione di qualità cristallina, mosaicità e larghezza di picco diffratto. | € 60 | € 90 | € 180 |
| RSM | Reciprocal Space Mapping (RSM) per strain, relaxation, tilt e mismatch reticolare in eterostrutture e film epitassiali. | € 75 | € 115 | € 225 |
| XRR | X-ray reflectivity (XRR) per stima di spessore, densità e rugosità di film sottili e multilayer. | € 60 | € 90 | € 180 |
| GI-XRD | Grazing-incidence XRD (GI-XRD) per identificazione di fase e cristallinità di film sottili e rivestimenti policristallini. | € 65 | € 100 | € 195 |
| XRD-STRESS | Analisi di stress / tensioni residue in film, coating e strati policristallini. | € 80 | € 120 | € 240 |
| XRD-TEXTURE | Analisi texture / orientazione preferenziale / pole figure su film e strati policristallini. | € 90 | € 135 | € 270 |
| XRD-PHASE | Interpretazione qualitativa del diffrattogramma con identificazione di fase su layer o coating policristallini. | € 70 | € 105 | € 210 |
| XRD-MAP | Wafer mapping fino a 200 mm per parametri HRXRD/XRR (uniformità spaziale, strain, spessore o qualità cristallina, se configurato). | € 85 | € 130 | € 255 |
ZYGO NEXVIEW NX2 - PROFILOMETRIA OTTICA TRAMITE INTERFEROMETRIA A LUCE BIANCA
| ZYGO NEXVIEW NX2 - PROFILOMETRIA OTTICA TRAMITE INTERFEROMETRIA A LUCE BIANCA | ||||
| TECNICA | TIPOLOGIA | TARIFFA A | TARIFFA B | TARIFFA C |
| CSI-TOPO | Mappa topografica 3D non-contact della superficie con profilometria ottica a scansione. | € 35 | € 55 | € 90 |
| CSI-ROUGH | Misura rugosità e texture superficiale (es. Ra, Rq, Sa, Sq, Sz o parametri equivalenti ISO disponibili nel software). | € 35 | € 55 | € 90 |
| CSI-STEP | Misura di step height tra aree processate / non processate o tra livelli microfabbricati. | € 35 | € 55 | € 90 |
| CSI-FORM | Analisi di waviness, flatness e forma locale della superficie su aree micro- e mesoscopiche. | € 40 | € 60 | € 100 |
| CSI-FEAT | Metrologia di microstrutture e pattern (altezza, profondità, larghezza apparente, volume, angoli o feature compatibili con l’ottica impiegata). | € 45 | € 70 | € 120 |
| CSI-FILM | Analisi di superfici con film trasparenti o multilayer otticamente compatibili con la misura CSI. | € 50 | € 75 | € 135 |
| CSI-WMAP | Misure multi-sito e wafer/site mapping di topografia, roughness o step height su wafer e dispositivi. | € 60 | € 90 | € 150 |
ZYGO VERIFIRE HDX - INTERFEROMETRIA LASER
| ZYGO VERIFIRE HDX - INTERFEROMETRIA LASER | ||||
| TECNICA | TIPOLOGIA | TARIFFA A | TARIFFA B | TARIFFA C |
| FIZEAU-FLAT | Misura di planarità / flatness di superfici ottiche, reference flats o wafer compatibili con interferometria Fizeau. | € 50 | € 75 | € 140 |
| FIZEAU-FORM | Misura dell’errore di figura superficiale con output PV / RMS e mappa 2D delle deviazioni dalla forma nominale. | € 60 | € 90 | € 160 |
| FIZEAU-WAVE | Misura del wavefront trasmesso o riflesso di componenti e sistemi ottici compatibili con la configurazione installata. | € 70 | € 105 | € 180 |
| FIZEAU-MAP | Mappa interferometrica ad alta definizione della superficie / del fronte d’onda per collaudo e qualifica ottica. | € 70 | € 105 | € 180 |
| FIZEAU-COMP | Confronto pre/post processo o pre/post trattamento per verificare deformazioni o scostamenti di forma su componenti ottici. | € 80 | € 120 | € 200 |
FOGALE TMAP-4 - INTERFEROMETRIA TRAMITE SORGENTI INFRAROSSE
| FOGALE TMAP-4 - INTERFEROMETRIA TRAMITE SORGENTI INFRAROSSE | ||||
| TECNICA | TIPOLOGIA | TARIFFA A | TARIFFA B | TARIFFA C |
| TMAP4-THK | Mappatura dello spessore wafer tramite interferometria IR su materiali / strutture compatibili con la tecnica. | € 45 | € 70 | € 120 |
| TMAP4-TTV | Determinazione della Total Thickness Variation (TTV) e della uniformità di spessore su intero wafer. | € 50 | € 75 | € 130 |
| TMAP4-SOI | Misura di spessore di layer in strutture SOI o epitassiali IR-compatibili, previa verifica di materiale e stack. | € 60 | € 90 | € 150 |
| TMAP4-MAP | Produzione di wafer map dello spessore con statistiche associate (min, max, media, range, uniformità). | € 55 | € 85 | € 140 |
| TMAP4-COMP | Confronto di spessore pre/post processo (es. thinning, grinding o bonding) su campioni compatibili e secondo protocollo disponibile. | € 60 | € 90 | € 150 |
SUSS / KARL SUSS - UNITÀ DI SPIN COATING
| SUSS / KARL SUSS - UNITÀ DI SPIN COATING | ||||
| TECNICA | TIPOLOGIA | TARIFFA A | TARIFFA B | TARIFFA C |
| SPIN-STD | Spin coating di photoresist standard su wafer o substrati compatibili con chuck e geometria disponibili. | € 25 | € 40 | € 70 |
| SPIN-THICK | Spin coating di resist spessi o processi multilayer con ricetta dedicata (rpm, accelerazione, tempo). | € 35 | € 55 | € 85 |
| SPIN-POLY | Deposizione per spin di polimeri, dielettrici sol-gel o formulazioni liquide compatibili con la macchina e con il protocollo di sicurezza. | € 35 | € 55 | € 85 |
| SPIN-OPT | Sviluppo / ottimizzazione ricetta di coating per target di spessore e uniformità. | € 50 | € 75 | € 120 |
| SPIN-SVC | Esecuzione assistita di coating su materiali del cliente con verifica preliminare di compatibilità chimica e di processo. | € 55 | € 85 | € 130 |
CAPPA CHIMICA COMPATIBILE CON PROCESSI A CALDO E CON ACIDI
| CAPPA CHIMICA COMPATIBILE CON PROCESSI A CALDO E CON ACIDI | ||||
| TECNICA | TIPOLOGIA | TARIFFA A | TARIFFA B | TARIFFA C |
| WET-STD | Processi umidi standard in cappa chimica su campioni / wafer secondo procedura autorizzata. | € 40 | € 60 | € 90 |
| WET-HF | Dip in HF / attacco ossido su campioni compatibili, con tempi e concentrazioni gestiti secondo protocollo di sicurezza interno. | € 60 | € 90 | € 150 |
| WET-HOT | Bagni chimici a caldo su materiali e chimiche compatibili con l’impianto e con la valutazione di rischio approvata. | € 65 | € 100 | € 160 |
DISCO DICER- TAGLIO MECCANICO DI SEMICONDUTTORI
| DISCO DICER- TAGLIO MECCANICO DI SEMICONDUTTORI | ||||
| TECNICA | TIPOLOGIA | TARIFFA A | TARIFFA B | TARIFFA C |
| DAD3351-SETUP | Setup processo, allineamento e definizione ricetta di taglio per wafer / substrati fino a 200 mm (8") o formati compatibili. | € 45 | € 70 | € 110 |
| DAD3351-TEST | Test cut e verifica taglio / qualità bordo per definizione parametri di taglio su configurazioni ad alta precisione. | € 40 | € 60 | € 100 |
| DAD3351-STD | Taglio standard di wafer o substrati compatibili con materiale, spessore, nastro e lama disponibili. | € 50 | € 75 | € 120 |
| DAD3351-THIN | Taglio di wafer sottili, materiali fragili o dispositivi che richiedono maggiore accuratezza, previa verifica di fattibilità. | € 60 | € 90 | € 140 |
| DAD3351-SVC | Servizio assistito di separazione chip / device con controllo preliminare di fattibilità e set-up fine del processo. | € 65 | € 100 | € 150 |
